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设备介绍

紫外光刻机(需掩膜版)

仪器预约

仪器介绍:掩膜板紫外光刻机,主要用来微型电路器件的加工,最高精度2微米,最大wafer,4英寸。

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设备负责人:徐元星 15715149696



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